本文標(biāo)題："微加速度計采用體微細(xì)加工技術(shù)優(yōu)點(diǎn),表面微細(xì)輪廓儀"
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微加速度計采用體微細(xì)加工技術(shù)優(yōu)點(diǎn),表面微細(xì)輪廓儀
微型加速度計都是由壓力傳感器制造公司生產(chǎn)的，多是壓阻懸
臂型。因?yàn)閴鹤栊?yīng)受溫度影響較大，所以壓阻加速度計需要溫度
補(bǔ)償，這可能限制其適用的溫度范圍和最終的分辨能力。而電容式
加速度計對溫度不敏感，已被作為替代產(chǎn)品而廣泛開發(fā)。
已研制成功的幾種電容加速度計，其基本的傳感器元件、
質(zhì)量塊和支撐梁均由體或表面微細(xì)加工技術(shù)制成。支撐梁可以是懸
臂型、扭桿型或隔膜型。像電容式壓力傳感器一樣，加速度計的傳
感器電容通常很小，因此寄生電容不容忽略，并需要信號形成和放
大等芯片電路。傳感器的信號輸出可依據(jù)所需的靈敏度、活動范圍
和波帶寬度，用一個簡單的開環(huán)回路方式或一個更復(fù)雜的閉式力平
衡方式得到。在汽車安全系統(tǒng)中應(yīng)用的加速度計需要有自檢功能，
微加速度計都采用體微細(xì)加工技術(shù)，但采用表面微細(xì)加
工技術(shù)有以下優(yōu)點(diǎn)：
(1)表面微細(xì)加工裝置有內(nèi)在的支撐。
(2)表面微細(xì)加工只需一面加工，這一點(diǎn)傳統(tǒng)的IC加工更
兼容。
(3)用表面微細(xì)加工出來的裝置總體上結(jié)構(gòu)尺寸更小，因此
有更高的生產(chǎn)效率，并能容納更多的微電子電路。
硅基表面微細(xì)加工的的缺點(diǎn)為：
(1)縱向尺寸差異不能大于2 pm，因此質(zhì)量塊的質(zhì)量太輕，
導(dǎo)致傳感器的靈敏度低，為增大質(zhì)量，在質(zhì)量塊上加重金屬層，
如Au。
(2)由于懸置的硅結(jié)構(gòu)很容易運(yùn)動(由于裝置結(jié)構(gòu)的長厚比
大)，因此有貼到支撐底面的傾向，尤其是在加速運(yùn)動過程中。
這兩個問題可通過在表面微細(xì)加工過程中采用電鍍技術(shù)加以
避免。
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